集成的光信號想要實現(xiàn)多種功能,都離不開基本光學元件的小型化,例如波導、分路器、光柵和光開關。這也意味著需要一種能實現(xiàn)高分辨率制造的方法。
目前已存在幾種用于亞波長高分辨率制造的技術,例如直接激光寫入、多光子光刻、電子束光刻、離子束光刻和多米諾骨牌光刻,然而,這些技術均成本高昂、復雜且耗時。納米壓印光刻雖然非常適合高分辨率與高效制,但是它同時也需要高質(zhì)量的“母機”。
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